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检测标准：
1 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 外观
2 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 结构尺寸和偏差
3 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 氧化铝含量
4 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 表面粗糙度
5 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 体积密度
6 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 透液性
7 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 抗折强度
8 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 维氏硬度
9 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 线膨胀系数
10 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 导热率
11 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 抗热震性
12 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 体积电阻率
13 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 击穿强度
14 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 介电常数
15 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/T14620-2013 损耗正切值
